瑞士Swiss Cluster公司介紹：
Swiss Cluster起源于EMPA瑞士聯(lián)邦材料科學(xué)與技術(shù)實(shí)驗(yàn)室孵化的高科技公司, 通過(guò)特有技術(shù)開發(fā)出ALD和PVD原位多層復(fù)合薄膜沉積系統(tǒng), 并取得了非凡的成就和成熟的應(yīng)用案例; 其位于瑞士EMPA的工廠集合了具有薄膜沉積背景的專業(yè)人士, 包括物理學(xué)、機(jī)械工程、軟件工程、材料科學(xué)、自動(dòng)化等, 優(yōu)秀專業(yè)團(tuán)隊(duì)加之核心技術(shù)和瑞士高品質(zhì)優(yōu)良工藝保障了給客戶提供行業(yè)內(nèi)下一代尖端的先進(jìn)的薄膜沉積設(shè)備;
Swiss Cluster憑借其特有的原位集成ALD+PVD+PECVD工藝可以將傳統(tǒng)ALD應(yīng)用擴(kuò)展到更深層次和更高維度, 使科學(xué)家輕松創(chuàng)造具有新結(jié)構(gòu)和新性能的創(chuàng)新材料, 原位復(fù)合超多層納米薄膜等.傳統(tǒng)復(fù)合薄膜需不同腔室真空互聯(lián), 流程復(fù)雜且成本高昂, 因樣品需在不同腔室移動(dòng)因此工藝繁瑣操作耗時(shí)且無(wú)法原位制備多層復(fù)合薄膜;
而Swiss Cluster突破常規(guī), 無(wú)需多個(gè)腔室和輸送臂等昂貴互聯(lián)部件,極大減少互聯(lián)設(shè)備成本和占地面積, 其腔體垂直布置且中部巧妙設(shè)計(jì)一個(gè)自動(dòng)化閘閥從而實(shí)現(xiàn)在無(wú)需破壞真空時(shí)將ALD和PVD兩工藝無(wú)縫原位組合, 且不同工藝切換時(shí)樣品一直保持原位固定, 結(jié)合實(shí)時(shí)原位計(jì)量學(xué)可以輕松高效低成本實(shí)現(xiàn)超高質(zhì)量數(shù)十到數(shù)百個(gè)ALD/PVD/PECVD多層復(fù)合納米薄膜;
ALD+PVD原位復(fù)合薄膜沉積技術(shù)介紹：
ALD原位復(fù)合多層納米薄膜應(yīng)用案例---1：
ALD原位復(fù)合多層納米薄膜應(yīng)用案例---2：
ALD原位復(fù)合多層納米薄膜應(yīng)用案例---3：
產(chǎn)品型號(hào)介紹：
可選具有功能優(yōu)勢(shì)的配件：
