低成本無污染且賦予電子器件獨特的柔性，延展性及功能可擴展性
創(chuàng)新的OLED, MicroLED的RGB噴印，TFE封裝及其他功能層噴印技術(shù)
柔性可穿戴器件能實現(xiàn)人工智能，人體實時交互等智能電子技術(shù)
微納米光刻，創(chuàng)新ALD沉積， IC芯片3D互聯(lián)互通及鍵合封裝技術(shù)
柔性印刷工藝制備柔性大面積低成本的有機，鈣鈦礦，新能源光伏
創(chuàng)新柔性印刷工藝使萬物互聯(lián)和智能包裝時代更快照進現(xiàn)實中
? 臺式無掩模直寫
? 業(yè)內(nèi)性價比極高
? 多個讀寫頭配置
? 簡單好用易上手
? 全球知名微納加工中心選擇
? 直寫光刻領域歷史悠久品牌
? 獨特的平行四讀寫頭設計
? 靈活可定制化大面積選擇
? 新一代高速ALD技術(shù)
? 原位復合ALD+PVD
? 原位制備多層納米薄膜
? 可升級PEALD等離子增強
? 新一代高速ALD技術(shù)
? 原位復合ALD+PVD
? 原位制備多層納米薄膜
? 可升級PEALD等離子增強
? 新一代超高速ALD技術(shù)
? 原位復合ALD+PVD
? 原位制備多層納米薄膜
? 可升級PEALD等離子增強
? 磁控濺射鍍膜
? 有機物低溫金屬沉積
? 電子束蒸鍍
? 熱蒸發(fā)
? 大于5000mm2/min效率
? 可達0.5um刻寫線寬精度
? 可達0.5um校準對位精度
? 最大可加工到12英寸尺寸
? 皮秒短脈沖PLD薄膜沉積
? 源頭遏制微粒及飛濺現(xiàn)象
? PulseLion全固態(tài)鋰電技術(shù)
? LISA鋰硫電池項目技術(shù)
? Sputter多靶磁控濺射
? Evaporator多源熱蒸發(fā)
? PLD激光脈沖沉積
? 多種鍍膜工藝一體化
? 臺式對準光刻機
? 業(yè)內(nèi)性價比很高
? 搭配多個光學物鏡
? 性能穩(wěn)定易上手
? 基于PDMS制備3D微流控
? 實驗室科研及產(chǎn)業(yè)大規(guī)模
? 相對傳統(tǒng)2PP性價比很高
? 廣泛應用微電子及生物
? 等離子清洗，活化，改性
? 桌面式設計性價比高
? 性能穩(wěn)定做工優(yōu)良
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? 基于玻璃3D復雜微器件
? 加工精度小于1um
? 表面精細度優(yōu)于10nm
? 深寬比優(yōu)于500比1
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